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      當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心其他設(shè)備AMC監(jiān)測(cè)阿瑞斯-µVOC半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

      半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測(cè)系統(tǒng)通過(guò)污染物源頭控制、傳播控制,實(shí)時(shí)監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級(jí)過(guò)濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn),持久監(jiān)測(cè)AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過(guò)濾器突發(fā)性壽命減少等。

      產(chǎn)品型號(hào):阿瑞斯-µVOC
      更新時(shí)間:2025-09-12
      廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
      訪問(wèn)量:3766
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      品牌杜克泰克產(chǎn)地國(guó)產(chǎn)

      半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測(cè)系統(tǒng)介紹:

      醋酸、草酸 、胺類、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷(HMDS)、鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)、鄰苯二甲酸二丁酯(DBP)、鄰苯二甲酸二乙酯(DEP)、異丙醇、丙酮、硼酸*酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機(jī)物

      空氣分子污染物 (AMC) 對(duì)于高科技生產(chǎn)過(guò)程是關(guān)鍵性因素,特別是微電子行業(yè),有機(jī)污染物是生產(chǎn)過(guò)程中的消極因素,會(huì)導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題而產(chǎn)生的成本增加。

      無(wú)空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo),通過(guò)污染物源頭控制、傳播控制,實(shí)時(shí)監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級(jí)過(guò)濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn),持久監(jiān)測(cè)AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過(guò)濾器突發(fā)性壽命減少等。


      半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測(cè)系統(tǒng)亮點(diǎn)

      一般特點(diǎn)

      在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測(cè)全部自動(dòng)化系統(tǒng)

      低濃度VOC監(jiān)測(cè)

      獨(dú)立分開(kāi)測(cè)量有機(jī)物成份

      Sub-ppb檢測(cè)限

      集成計(jì)算機(jī)和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能。


      半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測(cè)系統(tǒng)工作原理

      GC氣相色譜是分離多種復(fù)雜混合物常用的技術(shù),這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機(jī)混合氣體在色譜柱的多組份分離。

      當(dāng)不同的揮發(fā)性有機(jī)物從色譜柱分離出來(lái)后通過(guò)氫氣/空氣火焰離子檢測(cè)器探測(cè)電導(dǎo)率的變化,從而確定不同組份的濃度,*的吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達(dá)到sub-ppb檢測(cè)限。













       

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