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      當前位置:首頁產品中心其他設備AMC監測阿瑞斯-µVOC半導體潔凈室氣體分析監測系統

      半導體潔凈室氣體分析監測系統
      產品簡介

      半導體潔凈室氣體分析監測系統通過污染物源頭控制、傳播控制,實時監控污染物濃度并結合多級過濾器以及新風系統來實現,持久監測AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩定生產、預防過濾器突發性壽命減少等。

      產品型號:阿瑞斯-µVOC
      更新時間:2024-08-28
      廠商性質:經銷商
      訪問量:3117
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      品牌杜克泰克產地國產

      半導體潔凈室氣體分析監測系統介紹:

              醋酸、草酸 、胺類、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷(HMDS)、鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)、鄰苯二甲酸二丁酯(DBP)、鄰苯二甲酸二乙酯(DEP)、異丙醇、丙酮、硼酸*酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機物

      空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產過程是關鍵性因素,特別是微電子行業,有機污染物是生產過程中的消極因素,會導致高科技公司因產品質量問題而產生的成本增加。

              無空氣分子污染物生產是理想的生產目標,通過污染物源頭控制、傳播控制,實時監控污染物濃度并結合多級過濾器以及新風系統來實現,持久監測AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩定生產、預防過濾器突發性壽命減少等。


      半導體潔凈室氣體分析監測系統亮點

      一般特點

      在線連續質量監測全部自動化系統

      低濃度VOC監測

      獨立分開測量有機物成份

      Sub-ppb檢測限

      集成計算機和控制軟件以及數據采集與處理功能。


      工作原理

              GC氣相色譜是分離多種復雜混合物常用的技術,這種技術依賴于揮發性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。

      當不同的揮發性有機物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導率的變化,從而確定不同組份的濃度,*的吹掃和載氣系統可使儀器達到sub-ppb檢測限。












       

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